Цена доставки диссертации от 500 рублей 

Поиск:

Каталог / ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ / Химия элементоорганических соединений

Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур

Диссертация

Автор: Шатунов, Валерий Владимирович

Заглавие: Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур

Справка об оригинале: Шатунов, Валерий Владимирович. Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.08 / Шатунов Валерий Владимирович; [Место защиты: Гос. науч.-исслед. ин-т химии и технологии элементоорган. соединений] Москва, 2011 166 c. : 61 11-2/317

Физическое описание: 166 стр.

Выходные данные: Москва, 2011